Котов, Д. А. Высокоточное ионно-лучевое устройство предназначенное для ионного ассистирования / Д. А. Котов, И. В. Свадковский, С. И. Дудин // Новые технологии в машиностроении и вычислительной технике : труды X научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, аспирантов и ...